一、高純度制氮設備流程說明：

空氣壓縮部分：空壓機、空氣儲罐；

空氣凈化部分：高效除油器、精密過濾器、壓縮空氣干燥機、空氣緩沖罐、活性炭過濾器；

高純度制氮設備主機部分：吸附塔、PLC控制器、氮氣粉塵過濾器、氮氣儲罐，以壓縮空氣作為原料和動力，通過變壓吸附制取純度為95%～99.9995%的氮氣；

氮氣純化部分：利用碳載純化裝置（加氫純化裝置）對99.9%的普氮進行提純，得到高純度氮氣（99.999%～99.9995%）。

二、組件說明：

空氣壓縮機：空壓機是提供氣源的主要部分，經過壓縮的空氣首先通入壓縮空氣凈化組件除水、除油后進入空氣凈化組件。

空氣凈化裝置：空氣凈化組件由高效過濾器、冷凍干燥機、精過濾器、超精過濾器、催化劑除油器等組成，壓縮空氣進入管道過濾器除去＞1μm的微粒及大部分的水，保障冷凍干燥機和后級過濾器的正常使用，經冷凍干燥機使之強制冷卻到5℃左右，使空氣中的水汽凝結成水，通過分水過濾器分離并過濾后，由排污閥排出，使壓縮空氣露點達到-10℃，經精過濾器過濾＞0.01μm的微粒及油水，再進入超精過濾器過濾油、水;過濾精度＞0.001μm,經除油器中的活性碳吸附殘余的微量的油霧，得到潔凈的壓縮空氣通過管道進入氮氧分離系統,保證分子使用長壽。

空氣儲氣罐組件：空氣儲氣罐其作用是保證系統的平穩用氣，降低氣流脈動，起緩沖作用，從而減小系統壓力波動，使壓縮空氣平穩地通過壓縮空氣凈化系統，以便充分除去油水雜質，減輕后續PSA氧氮分離裝置的負荷。同時，在氧氮分離系統進行周期工作切換時，也為氧氮分離系統提供短時間內迅速升壓所需的大量壓縮空氣，從而使吸附塔內的吸附壓力很快上升到工作壓力，保證了設備穩定運行。

氧氮分離系統：氧氮分離系統是制氮機的核心部分，由兩只吸附塔、壓縮裝置、程控閥、等部件組成，我院采用高品質的進口閥門，無泄漏使用壽命長達300萬次以上，為整套裝置提供了可靠的性能保障。

氮氣緩沖罐：氮氣緩沖罐主要是由緩沖罐、粉塵過濾器、流量計、調壓閥、節流閥等組成，以用戶現場提供穩定的氮氣源。

總結：通過以上的方案剖析，我們可以對制氮機結構及組成有了一定的認識和理解，但對于不同的環境工況以及不同的工藝使用條件，設備在配置會有一定的選擇性。